火箭工作環境
[拼音]:jiguang jiagong
[英文]:laser processing
用鐳射束對材料進行各種加工,如打孔、切割、劃片、焊接、熱處理等。鐳射加工有許多優點:
(1)鐳射功率密度大,工件吸收鐳射後溫度迅速升高而熔化或汽化,即使熔點高、硬度大和質脆的材料(如陶瓷、金剛石等)也可用鐳射加工;
(2)鐳射頭與工件不接觸,不存在加工工具磨損問題;
(3)工件不受應力,不易汙染;
(4)可以對運動的工件或密封在玻璃殼內的材料加工;
(5)鐳射束的發散角可小於1毫弧,光斑直徑可小到微米量級,作用時間可以短到納秒和皮秒,同時,大功率鐳射器的連續輸出功率又可達千瓦至十千瓦量級,因而鐳射既適於精密微細加工,又適於大型材料加工;
(6)鐳射束容易控制,易於與精密機械、精密測量技術和電子計算機相結合,實現加工的高度自動化和達到很高的加工精度;
(7)在惡劣環境或其他人難以接近的地方,可用機器人進行鐳射加工。
鐳射打孔
採用脈衝鐳射器可進行打孔,脈衝寬度為0.1~1毫秒,特別適於打微孔和異形孔,孔徑約為0.005~1毫米。鐳射打孔已廣泛用於鐘錶和儀表的寶石軸承、金剛石拉絲模、化纖噴絲頭等工件的加工(圖1)。
鐳射切割、劃片與刻字
在造船、汽車製造等工業中,常使用百瓦至萬瓦級的連續CO2鐳射器對大工件進行切割,既能保證精確的空間曲線形狀,又有較高的加工效率。對小工件的切割常用中、小功率固體鐳射器或CO2鐳射器。在微電子學中,常用鐳射切劃矽片或切窄縫,速度快、熱影響區小。用鐳射可對流水線上的工件刻字或打標記,並不影響流水線的速度,刻劃出的字元可永久保持(圖2)。
鐳射微調
採用中、小功率鐳射器除去電子元器件上的部分材料,以達到改變電引數(如電阻值、電容量和諧振頻率等)的目的。鐳射微調精度高、速度快,適於大規模生產。利用類似原理可以修復有缺陷的積體電路的掩模,修補積體電路儲存器以提高成品率,還可以對陀螺進行精確的動平衡調節(圖3)。
鐳射焊接
鐳射焊接強度高、熱變形小、密封性好,可以焊接尺寸和性質懸殊,以及熔點很高(如陶瓷)和易氧化的材料。鐳射焊接的心臟起搏器,其密封性好、壽命長,而且體積小。
鐳射熱處理
用鐳射照射材料,選擇適當的波長和控制照射時間、功率密度,可使材料表面熔化和再結晶,達到淬火或退火的目的。鐳射熱處理的優點是可以控制熱處理的深度,可以選擇和控制熱處理部位,工件變形小,可處理形狀複雜的零件和部件,可對盲孔和深孔的內壁進行處理。例如,氣缸活塞經鐳射熱處理後可延長壽命;用鐳射熱處理可恢復離子轟擊所引起損傷的矽材料。
鐳射加工的應用範圍還在不斷擴大,如用鐳射製造大規模積體電路,不用抗蝕劑,工序簡單,並能進行0.5微米以下圖案的高精度蝕刻加工,從而大大增加整合度。此外,鐳射蒸發、鐳射區域熔化和鐳射沉積等新工藝也在發展中。