反應濺射蝕刻[法]

中 文 反應濺射蝕刻[法]

英 文 reactive sputtering etching

出 處 化學工程名詞-兩岸化學工程名詞

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反應濺射蝕刻[法] reactive sputtering etching 【化學工程名詞】
反應濺射蝕刻[法] reactive sputtering etching 【化學工程名詞-兩岸化學工程名詞】
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濺射蝕刻〔法〕 sputtering etching 【化學工程名詞】
反應離子蝕刻[法] reactive ion etching 【化學工程名詞-兩岸化學工程名詞】
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光微影術;光蝕刻法 photo lithography 【電子工程】
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