新氮化釕鈦與氧化釕鈦擴散屏障；新 RuTiN 與 RuTiO 擴散屏障
中 文 新氮化釕鈦與氧化釕鈦擴散屏障；新 RuTiN 與 RuTiO 擴散屏障
英 文 new RuTiN and RuTiO diffusion barrier
出 處 電子工程
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