PECVD 氮化物電介質;電漿輔助化學氣相沉積氮化物電介質

中 文 PECVD 氮化物電介質;電漿輔助化學氣相沉積氮化物電介質

英 文 PECVD nitride dielectric

出 處 電子工程

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PECVD 氮化物電介質;電漿輔助化學氣相沉積氮化物電介質 PECVD nitride dielectric 【電子工程】
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微波電漿化學氣相沉積 microwave plasma chemical vapor deposition 【材料科學名詞-兩岸材料科學名詞】
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