電漿增強化學氣相沉積氮化矽

中 文 電漿增強化學氣相沉積氮化矽

英 文 plasma enhanced chemical vapor deposited silicon nitride

出 處 電子工程

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電漿增強化學氣相沉積氮化矽 plasma enhanced chemical vapor deposited silicon nitride 【電子工程】
PECVD 氮化物電介質;電漿輔助化學氣相沉積氮化物電介質 PECVD nitride dielectric 【電子工程】
雙電漿增強金屬有機化學氣相沉積 dual-plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition{=DPEMOCVD} 【電子工程】
遠距電漿增強化學氣相沉積 remote plasma enhanced chemical vapor deposition{=RPECVD} 【電子工程】
電漿增強化學氣相沉積 plasma enhanced chemical vapor deposition{=PECVD} 【電子工程】
電漿增強化學氣相澱積 plasma-enhanced chemical vapor deposition 【機械工程】
光增強化學氣相沉積 photon enhanced chemical vapor deposition{=PhECVD} 【電子工程】
增量化學氣相沉積 Enhanced chemical vapor deposition 【電子工程】
電漿增強化學蒸氣 plasma enhanced chemical vapor 【電子工程】
微波電漿輔助化學氣相沉積 microwave plasma assisted chemical vapor deposition{=MPCVD} 【電子工程】
PECVD 介電材料;電漿輔助化學氣相沉積介電材料 PECVD dielectric material 【電子工程】
電感耦合電漿化學氣相沉積 inductively coupled plasma chemical vapor deposition 【電子工程】
電漿化學氣相沉積 plasma chemistry vapor deposition{=PCVD} 【機械工程】
電漿化學氣相沉積 plasma chemical vapor deposition 【機械工程】
射頻電漿輔助化學氣相沉積 radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition 【材料科學名詞-兩岸材料科學名詞】
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低壓化學氣相沉積氧化介電層 LPCVD oxide dielectrics 【電子工程】
低壓化學氣相沉積介電 low pressure chemical vapor deposited dielectrics 【電子工程】
微波電子迴旋共振化學氣相沉積 microwave ECR-CVD 【電子工程】
電化學氣相沉積 electrochemical vapor deposition (EVD) 【材料科學名詞-能源材料】