人口指標體系

[拼音]：zhenkong jianlou

[英文]：vacuum leak detection

檢測真空系統或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣後，容器壓力不再變化，這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計，則平衡式變為puSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數)，要得到低的極限壓力便應降低漏氣量，檢漏便是關鍵的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側通向大氣側。漏孔一般很微小，實際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率（在規定的條件下氣體流過漏孔的流量）來表示。漏孔兩側存在著壓力差，即可利用氣體流動引起的效應來檢漏。為便於檢漏和易於檢測出漏孔的位置，一般儘可能縮小檢測的面積範圍，所以先側重於對零部件的檢漏。零部件經過嚴格的檢漏，組裝後就可避免漏氣。

漏氣的判斷

將系統抽到穩定的最低壓力，然後將泵與系統隔開，測量系統的壓力變化，並據此繪出壓力-時間曲線（圖1）。曲線a表明系統有較大的漏孔；曲線b表示系統大量放氣；曲線c是a和b兩種情況的綜合，即同時存在放氣和漏氣。為使系統中存在的蒸氣影響減到最小限度，測量壓力應採用液氮冷阱冷卻。

檢漏方法

真空檢測常用的有氣壓檢漏、氨敏紙檢漏、熒光檢漏、高頻火花檢漏、放電管檢漏和儀器檢漏等多種方法。

氣壓檢漏

被檢零部件內腔充以氣體(一般為空氣)，充氣壓力的高低視零部件的強度而定，一般為(2～4)×105帕。充壓後的零部件如發出明顯的嘶嘶聲，音響源處就是漏孔位置。用這種方法可檢最小漏率為5帕·升／秒的漏孔。如不能用聲音直接察覺漏孔，則用皁液塗於零部件可疑表面處，有氣泡出現處便是漏孔位置。用這種方法最小可檢漏率為5×10-3帕·升／秒的漏孔。此外，還可將充氣的零部件浸在清淨的水槽中，氣泡形成處便是漏孔位置。用水槽顯示漏孔，方便可靠，並能同時全部顯示出漏孔位置。如氣泡小、成泡速度均勻、氣泡持續時間長，則為1.3×10-2～13帕·升／秒漏率的漏孔。如氣泡大、成泡持續時間短，則為13～103帕·升／秒漏率的漏孔。

氨敏紙檢漏

將被檢零部件內腔抽空後，充入壓力為(1.5～2)×105帕的氨氣，在可疑表面處貼上溴酚藍的試紙或試布，用透明膠紙封住，試紙或試布上有藍斑點出現，即是漏孔的位置。用這種方法可檢漏率為7×10-4～106帕·升／秒的漏孔。

熒光檢漏

將被檢的零部件浸入熒光粉的有色溶液（二氯乙烯或四氯化碳）中，經一定時間後取出烘乾，漏孔處留有熒光粉，在器壁另一面用紫外線照射，發光處即為漏孔位置。

高頻火花檢漏

這種方法僅適用於玻璃真空系統。先將系統抽成真空，高頻火花檢漏儀的火花端沿著玻璃表面移動，火花集中成束形成亮點處即是漏孔位置。

放電管檢漏

將放電管接到系統上，並將系統抽成中真空，在高頻電壓作用下系統中殘存氣體（空氣）產生紫紅色或玫瑰色輝光放電。若在系統可疑表面處塗上丙酮、汽油、酒精或其他易揮發的碳氫化合物，有藍色放電顏色出現之處便是漏孔位置。

真空計檢漏

根據相對真空計（熱導真空計和電離真空計等）的讀數檢漏的方法。真空計的工作壓力範圍就是檢漏適用的壓力範圍。檢漏時在可疑處噴吹示漏氣體氫、氧、二氧化碳、乙烷或用棉花塗以乙醚、丙酮、甲醇等。示漏氣體進入系統後會引起真空計讀數的突然變化。熱導真空計可檢漏率為10-3帕·升／秒的漏孔;電離真空計可檢漏率為10-4～10-5帕·升／秒的漏孔。

鹵素檢漏儀檢漏

圖2為鹵素檢漏儀的原理。鉑陽極筒和不鏽鋼陰極筒構成一個間熱式二極規管。當加熱絲將鉑陽極加熱到 1027～1223K時，鉑發出的正離子在負電場下到達陰極形成電流。在鹵素氣體的催化作用下，正離子的發射急劇增加。鹵素檢漏儀就是利用這樣的效應制成的。檢漏時將規管接到系統中，並將系統抽到9～2帕真空，有噴槍把鹵素氣體(常用氟利昂R12)噴向被檢零部件可疑表面處，引起離子流值急劇增加處即是漏孔位置。或與此相反將高於大氣壓力的鹵素氣體壓入系統內，探測槍在被檢零部件外表移動，鹵素氣體逸出處引起離子流值急劇增加，此處即為漏孔位置。用這種方法可檢最小漏率為10-3～10-4帕·升／秒的漏氣。

氦質譜檢漏儀檢漏

氦質譜檢漏儀（圖3）檢漏的核心部分是探測分析器。氣體在電離室中被電離成離子，由加速極加速並經聚焦後進入磁場。因磁場垂直於離子束的運動方向，離子按照質量m大小以各種曲率半徑偏轉，其中示漏氣體的離子以一定曲率半徑偏轉進入連線放大器的收集極。質譜儀就是利用這種現象來檢漏的。氦質譜儀用氦為示漏氣體的原因是：

（1）氦在空氣中含量極少，材料出氣中的含量也幾乎為零；

（2）氦分子小，質量輕，易於穿過漏孔；

（3）氦是惰性氣體，不起化學作用，不汙染真空系統，操作安全；

（4）質荷比較接近氦(m=4)的離子在質譜圖上相距較遠，不易混雜。檢漏時，將檢漏儀與被檢容器或系統連線，抽真空達到工作壓力（一般為10-2～10-3帕）後，用氦氣噴吹被檢零部件的外表，儀表有氦的指示值處即為漏孔位置。用這種方法可檢最小漏率為10-10～10-11帕·升／秒的漏孔。氦質譜檢漏儀是超高真空裝置必不可少的檢漏儀器。